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EVP CXF-系列涡轮分子泵

品牌:EVP

分类: 干式真空泵

Availability : In Stock

产品描述: CXF-系列涡轮分子泵,响应时间短,可以抽不含碳氢化合物的介质,维护次数少,振动低,在有此类需求的工况中是用户的理想选择

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CXF-系列磁悬浮分子泵参数表 :

 

型号 CXF-200/1400 CXF-250/2300 CXF-320/3000
理论抽速 L/s 1400 2300 3000
排气法兰 KF40 KF40 KF40
进气口法兰(可选) DN200 LF DN250 LF ISO-F 320

(其他法兰可定制)

DN200 CF DN250 CF DN 320 LF
极限压强 Pa ≤2×10-6 ≤2×10-7 ≤5×10-7
建议启动压强 Pa <5 <5 <5
额定转速 Rpm 3000(可调) 27000(可调) 21000
启动时间 Min 11 11 12
振动值 µm <0.05 <0.05 <0.015
建议前级泵 L/s 15 12 15
水嘴 ID Ø10 直插自密封
冷却方式 水冷 水冷 水冷
冷却水流量 L/min 1 1 1
冷却水压力 Mpa 0.15 0.15 0.15
冷却水温度 20 20 20
环境温度 5-45 5-45 5-45
安装位置 垂直,水平,倒立
重量 Kg 47 58 70

简介:

CXF-系列涡轮分子泵,响应时间短,可以抽不含碳氢化合物的介质,维护次数少,振动低,在有此类需求的工况中是用户的理想选择。分子泵的转子在磁力轴承的作用下被完全悬空, 转子不和泵腔内任何部件接触。因为泵腔内没有任何摩擦所以分子泵各部件使用寿命超长。同时,振动值非常低。在设计中,CXF-系列带有转子悬浮状态监测,转子自动平衡, 运行排气负载监控, 断电自动保护等功能。

主要优势:

无油,能获得超洁净真空;

因泵腔内无任何摩擦,不需要维护保养,节约使用成本;

低振动,低噪音,为用户提供良好的使用环境;

转速可调,用户可以根据不同工况调节泵的转速满足不同气量要求;

结构紧凑节省安装空间;

可任意角度安装,所以安装方便;

抗前级压力强。

应用:

半导体生产研究,玻璃镀膜,天阳能电磁,电子显微镜,冶金,等离子科技,医疗设备,等。

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