EVP CXF-系列涡轮分子泵

产品描述: CXF-系列涡轮分子泵，响应时间短，可以抽不含碳氢化合物的介质，维护次数少，振动低，在有此类需求的工况中是用户的理想选择

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简介：

CXF-系列涡轮分子泵，响应时间短，可以抽不含碳氢化合物的介质，维护次数少，振动低，在有此类需求的工况中是用户的理想选择。分子泵的转子在磁力轴承的作用下被完全悬空，转子不和泵腔内任何部件接触。因为泵腔内没有任何摩擦所以分子泵各部件使用寿命超长。同时，振动值非常低。在设计中，CXF-系列带有转子悬浮状态监测，转子自动平衡，运行排气负载监控，断电自动保护等功能。

主要优势:

无油，能获得超洁净真空；

因泵腔内无任何摩擦，不需要维护保养，节约使用成本；

低振动，低噪音，为用户提供良好的使用环境；

转速可调，用户可以根据不同工况调节泵的转速满足不同气量要求；

结构紧凑节省安装空间；

可任意角度安装，所以安装方便；

抗前级压力强。

应用:

半导体生产研究，玻璃镀膜，天阳能电磁，电子显微镜，冶金，等离子科技，医疗设备，等。

CXF-系列磁悬浮分子泵参数表 :

型号		CXF-200/1400	CXF-250/2300		CXF-320/3000
理论抽速	L/s	1400	2300		3000
排气法兰		KF40	KF40		KF40
进气口法兰（可选）		DN200 LF	DN250 LF		ISO-F 320 (其他法兰可定制)
		DN200 CF	DN250 CF		DN 320 LF
极限压强	Pa	≤2×10^-6	≤2×10^-7		≤5×10^-7
建议启动压强	Pa	<5	<5		<5
额定转速	Rpm	3000(可调)	27000(可调)		21000
启动时间	Min	11	11		12
振动值	µm	<0.05	<0.05		<0.015
建议前级泵	L/s	15	12		15
水嘴		ID Ø10 直插自密封
冷却方式		水冷	水冷	水冷
冷却水流量	L/min	1	1	1
冷却水压力	Mpa	0.15	0.15	0.15
冷却水温度	℃	20	20	20
环境温度	℃	5-45	5-45	5-45
安装位置		垂直，水平，倒立
重量	Kg	47	58	70

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