公司简介：

上海坎特真空科技有限公司（EVP）致力于真空泵、压缩机、真空机组及配件的生产和销售，为全球客户提供一流的真空设备解决方案。EVP的品牌创立灵感来自于“向世界传递来自东方的真空产品”，强调来自东方的自信与活力。EVP系列产品凝聚了东方智慧，基于客户不同的需求提供匹配的解决方案，加上产品极具东方美学的设计与配色，持续为“中国创造”赢得美名。

产品简介：

ECP系列低温泵，气量范围：1000 ~ 10000 L/s （N₂）

• 极限真空高，可达10^-7Pa的极高真空
• 运行成本低。以扩散泵为例，低温泵可节省大量中间耗材（例如液氨维护成本），并大幅降低能耗
• 抽速高。对空气，尤其是水蒸气，具有极高的抽速
• 洁净。采用低温冷板冷凝吸附气体，获得并维持真空。真空腔内无运动部件
• 安全便捷。真空腔内无运动部件，外部干扰或真空系统中的颗粒不会影响低温泵的工作
• 可任意位置安装
• 使用寿命长。低温泵运动部件少，运转转速低，通过日常维护，低温泵的使用寿命可达5～6万小时，甚至8万小时以上

主要应用：

ECP系列低温泵广泛应用于半导体、集成电路、光电子器件、光学镀膜机及其他真空镀膜设备等行业。