真空泵在单晶硅成产中的应用

单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。
半导体的导电能力介于导体和绝缘体之间，硅、锗、砷化镓和硫化镉都是半导体材料，半导体材料的电阻率随着温度升高和辐射强度的增大而减小，在半导体中加入微量的杂质，对其导电性有决定性影响，这是半导体材料的重要特性。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。

单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。

单晶硅的生产过程中，首先需要用真空泵对单晶炉（见下图）进行抽真空，使单晶炉保持在一种高真空状态下，排除多余的有害气体，然后再充入惰性气体作为保护气体。之后利用单晶炉内的石墨加热器对放置于石英坩埚内的块状多晶硅料进行加热融化，完成单晶硅的生产，在单晶硅的生产过程中，要持续不断的对单晶炉抽真空，并持续的充入惰性保护气体。

在单晶硅的生产中，滑阀式真空泵因其稳定的抽速和相对较高的真空度成为该行业最常用的真空泵。上海坎特真空科技有限公司生产的滑阀泵已经被广泛应用于该行业，与国内国际单晶硅生产厂家展开了紧密合作，比如型号2H-150，150L/s，极限真空0.06Pa；随着客户对于环保以及洁净真空的有着越来越高的要求，目前也有客户采用干式螺杆泵来成产单晶硅。具体问题请联系我司销售部门。

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