真空泵应用于化学气相沉积

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料，这些功能材料必须是高纯的，或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是，我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求，也难以保证得到高纯度的产品。因此，无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。

化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：
1.形成挥发性物质
2.把上述物质转移至沉积区域
3.在固体上产生化学反应并产生固态物质
最基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。

特点
1.在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上。
2.采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。
3.涂层的化学成分可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层。
4.可以控制涂层的密度和涂层纯度。
5.绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。
6.沉积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过各种技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。
7.可以通过各种反应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。

化学气相沉积技术在材料制备中使用

1. 化学气相沉积法生产晶体、晶体薄膜
化学气相沉积法不但可以对晶体或者晶体薄膜性能的改善有所帮助，而且也可以生产出很多别的手段无法制备出的一些晶体。化学气相沉积法最常见的使用方式是在某个晶体衬底上生成新的外延单晶层，最开始它是用于制备硅的，后来又制备出了外延化合物半导体层。它在金属单晶薄膜的制备上也比较常见（比如制备 W、Mo、Pt、Ir 等）以及个别的化合物单晶薄膜（例如铁酸镍薄膜、钇铁石榴石薄膜、钴铁氧体薄膜等）。

2.生产晶须
晶须属于一种以为发育的单晶体，它在符合材料范畴中有着很大的作用，能够用于生产一些新型复合材料。 化学气相沉积法在生产晶须时使用的是金属卤化物的氢还原性质。化学气相沉积法不但能制备出各类金属晶须，同时也能生产出化合物晶须，比如氧化铝、金刚砂、碳化钛晶须等等。

一般而言，化学气相沉积技术可以在常压和真空条件下，即负压的条件下进行沉积。在真空沉积下的膜层质量较好。
为了获取更好的材料质量，坎特真空提供完备的真空产品，搭配相应的系统在化学气相沉积行业有非常好的经验，常见的真空泵有：

1.FB分子真空泵,极限真空度10-6Pa至10-8Pa,气量300L/s-3600L/s

2.2XZ-C双级旋片真空泵，极限真空1pa，气量2L/s-53L/s

3.EVP涡旋真空泵，极限真空1-3pa，气量4L/s-16L/s

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编辑：上海坎特真空科技有限公司

 

 

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