螺杆泵处理氢氟酸的选择
氢氟酸是一种用途广泛但极具腐蚀性和毒性的化学品，主要用于以下领域：
1.半导体制造 晶圆蚀刻与清洗 对耐腐蚀性和无油、无颗粒的洁净环境有极高要求，需专用高耐腐蚀真空泵。 避免金属离子污染，纯度直接决定芯片良率。
2.太阳能电池与平板显示 制造过程中的蚀刻与清洗工序 对耐腐蚀性有高要求，需专用耐腐蚀真空泵。 确保工艺洁净度，避免影响产品性能。
3.玻璃加工 玻璃蚀刻和清洁 需使用耐氢氟酸腐蚀的真空泵。 氢氟酸能强烈腐蚀玻璃。
一、选型核心原则
1.优先选干式无油型：杜绝润滑油与氢氟酸接触发生反应，同时避免介质污染，适配含氢氟酸的气体/气液混合物处理。
2.确认耐腐与密封：过流部件必须耐氢氟酸腐蚀，密封结构采用无泄漏设计（如磁力密封、PTFE波纹管密封），禁止用普通机械密封。
磁力密封通常由内磁钢、外磁钢、隔离套等部件组成，通过磁力耦合传递扭矩，实现无接触式密封，能有效防止介质泄漏。
3.匹配工况参数：根据氢氟酸浓度（常规≤50%或高浓）、温度（建议≤120℃）、真空度需求（常规1-100Pa）选择对应功率与螺杆结构的型号。
二、关键材质选择（按部件优先级排序）
1.过流核心部件（螺杆、泵腔）
– 主流选择：PTFE/PVDF衬里+陶瓷涂层（适配中低浓度氢氟酸，成本适中）、双相不锈钢+特种氟塑料涂层（耐蚀性更强，适配高浓工况）。
– 高端定制：蒙乃尔合金（镍铜合金，耐氢氟酸腐蚀最优，适合高纯度、高浓度场景，但需避开氧化性介质）。
– 禁用：普通不锈钢、碳钢、常规塑料（如PP、PE，长期易被渗透腐蚀）。
2.密封与密封件
– 密封结构：优先磁力密封（无轴封泄漏风险），其次是PTFE波纹管机械密封（搭配全氟醚O圈）。
– 密封材质：密封圈、垫片必须用全氟醚橡胶（FFKM） 或PTFE，禁用丁腈橡胶、氟橡胶（FKM，氢氟酸环境下易老化失效）。
3.辅助部件
– 阀组、管路：选用PVDF或PTFE材质，法兰垫片用PTFE包覆石墨垫。
– 轴承：采用陶瓷轴承或不锈钢轴承+PTFE隔离套，避免与氢氟酸蒸汽接触。
三、螺杆泵（即使是耐腐专用款）也无法覆盖所有氢氟酸环境，核心受限场景及原因如下：
1.含固体颗粒的氢氟酸体系：螺杆与泵腔间隙小，固体颗粒会造成磨损、卡泵，破坏密封与耐腐涂层；
2.超高温（＞150℃）或超高压工况：高温会导致PTFE衬里、全氟醚密封件老化失效，高压易突破隔离套耐压极限；
3.氢氟酸与氧化性介质混合环境：蒙乃尔合金、哈氏合金等耐腐材质，在氢氟酸+硝酸/双氧水等氧化性介质中会快速腐蚀；
4.超高浓度（接近无水氢氟酸）且高真空场景：普通耐腐涂层易被渗透，需定制特殊合金（如钽合金）螺杆泵，常规款无法适配。
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