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复合分子泵FB系列

复合分子泵FB系列

产品描述: FB 系列复合分子泵属于无油干泵,是获得清洁高真空的理想设备。
0086-21-50878057
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简介:

FB 系列复合分子泵属于无油干泵,是获得清洁高真空的理想设备。

FB 系列复合分子泵有涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成,它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大,压缩比高,牵引泵高压强是抽速大,压缩比高德特点,扩展了分子泵的应用范围。

复合分子泵对被抽气体无选择性,无记忆效应,由于对分子量大的气体有很高的压缩比,因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。

FB复合分子泵采用进口精密轴承支撑,冷却方式为水冷或风冷,风冷泵工作环境温度必须低于28℃,转子经过整机动平衡,运转平稳可靠,电机为鼠笼式三相电机,轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑,简易可靠,但也决定了分子泵只能垂直安装。

应用:

工业捡漏,PVD, CVD, 离子注入,真空电子元器件制造,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学镀膜,太阳能电池,电子束焊接,真空炉等领域。

型号 单位 FB-600 FB-1200 FB-1600 FB-3600
高真空法兰 mm 150CF 160

ISO-K

200

CF

200

ISO-K

250

CF

250

ISO-K

400

ISO-K

前管法兰 mm 40 KF 40 KF 50 KF 100 ISO-K
泵速 L/s 600 1200 1600 3600
压缩率 N2 >109 >109 >109 >108
H2 >8×103 >1×104 >1×104 >5×102
极限压力 Torr <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7 <8×10-8 <5×10-7 <2×10-6
电机转速 rpm 24000 24000 24000 13500
振动值 µm ≤0.1 ≤0.1 ≤0.15 ≤0.15
启动时间 min <4.5 <5 <6 <11
前泵转速 L/s 4-8 8-15 15 30-70
冷却方法 / Air / water Air / water Air / water water
环境温度(Air) ℃ ≤20 ≤20 ≤20 /
水冷却 温度 ℃ ≤35 ≤35 ≤35 ≤25
消耗 L/m 1-2 1-2 1-2 2
烘烤温度 ℃ <120 <120 <120 <120
加热器 功率 Kw <250 <300 <350 /
电压 V AC220 AC220 AC220 /
安装位置 / 垂直±5°
重量 Kg 25 29 31 100
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