2018中国（上海）国际真空镀膜技术及设备展览会

时间：2018年5月14-16日

地点：国家会展中心-上海.虹桥（上海市崧泽大道333号）

展会概况：

上海国际真空镀膜技术及设备展览会” （简称中国真空镀膜展）是上海时空展览服务有限公司与中国机械工程学会表面工程分会、中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会等行业单位联合创办，固定在上海举办。现已成为中国首屈一指的真空镀膜技术及设备展，是中国乃至全球的真空镀膜行业展览会。

同期将召开多场技术研讨会，邀请国内外专家与参会代表前来互动交流，探讨行业发展趋势，分享各自取得的经验成果，真空镀膜展作为新材料展的专业展，夯实市场化运作的“中国新材料第一展”的地位，同时也向国际的真空镀膜展再迈进坚实的一步！届时，热忱欢迎国内外的真空镀膜技术企业及其相关行业人士前来参观与交流！

参展范围：

镀膜材料：金属膜料、氧化物、氟化物、硫化物、钛酸物、混合物等各种膜材、镀膜蒸发料；PVD涂层、TiN涂层、TiC涂层、TiCN涂层、ZrN涂层、CrN涂层、MoS2涂层、TiAlN涂层、TiAlCN涂层、TiN-AlN涂层、CNx涂层、DLC涂层、ta－C涂层等多元复合涂层；靶材：溅射靶材、金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材、合金靶材、单晶靶材、氧化物靶材、硼化物靶材、碳化物靶材、贵金属靶材、稀有金属靶材（钛、铌、锆、镍、钽、钨、钼、铪、铬、银等），单一金属靶材、蒸发材料、特种靶材等各类靶材；

低温超导薄膜：低熔点超导薄膜：低熔点超导薄膜，合金薄膜；高熔点超导薄膜：难熔金属，合金薄膜；化合物超导薄膜： NbN和Nb3Sn、Nb3Ge薄膜；高温超导薄膜；钇系薄膜、铋系薄膜；

功能薄膜：光学薄膜，背光/显示用膜，显示屏用膜，产业用薄膜，光伏薄膜；

镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机、光纤镀膜、CVD设备、MOCVD设备、薄膜沉积设备、玻璃镀膜设备、磁控镀膜、蒸镀设备、离子束沉积设备、离子源；蒸发沉积掩膜、晶振片、镀膜夹具、配件、仪器、镀膜测试与监控设备、膜厚监测仪、镀膜牢固度测试器等；

镀膜材料生产加工设备：冷等静压机，热等静压机，磁控溅射热蒸发，铜带铜铟硫技术与设备，高温钎焊炉，烧结炉，中频感应炉，电子束区熔炉，电子束熔炼炉，大面靶材钎焊炉，高温真空热压炉，轧机等；

超导器件：超导隧道器件，超导量子干涉器件，

薄膜成型机械、检测检验仪器、特殊装置、薄膜原料及化工产品；

洁净工程：洁净、防护系统，屏蔽防护产品、屏蔽机房设备、屏蔽桌/台/柜，安全防护服、洁净室耗材、防静电产品等；