罗茨泵机组的极限真空
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| 罗茨泵,又称为增压泵,其主要作用是提高真空度。单个罗茨泵的极限压力可达到5*10-2Pa。适用工作压力范围在103~10-1Pa。
但传统罗茨泵无法单独工作,必须配套机械泵(又名前级泵)使用。 在搭配不同的前级泵时,罗茨泵机组达到的极限真空度不同。因此,在选择配套机械泵时,除了考虑工作环境的要求外,还需考虑工作真空。下表为罗茨常见机械泵配套使用能达到极限压力,仅供参考:
| 机组类型 |
机组配置 |
极限压力(Pa) |
| 罗茨滑阀(旋片)真空机组 |
罗茨+单级滑阀/旋片泵 |
≤1*10-1 |
| 罗茨+罗茨+单级滑阀/旋片泵 |
≤2*10-2 |
| 罗茨+罗茨+罗茨+单级滑阀/旋片泵 |
≤1*10-2 |
| 罗茨+双级滑阀/旋片泵 |
≤2*10-2 |
| 罗茨+罗茨+双级滑阀/旋片泵 |
≤1*10-2 |
| 罗茨+罗茨+罗茨+双级滑阀/旋片泵 |
≤8*10-3 |
| 罗茨水环真空机组 |
罗茨+水环泵 |
≤300 |
| 罗茨+罗茨+水环泵 |
≤40 |
| 罗茨+罗茨+罗茨+水环泵 |
≤1 |
| 罗茨油环真空机组 |
罗茨+油环泵 |
≤100 |
| 罗茨+罗茨+油环泵 |
≤2 |
| 罗茨+罗茨+罗茨+油环泵 |
≤5*10-1 |
| 罗茨水环大气喷射泵机组 |
罗茨+水环泵+大气喷射泵 |
≤40 |
| 罗茨+罗茨+水环泵+大气喷射泵 |
≤2 |
| 罗茨往复真空机组 |
罗茨+往复泵 |
≤300 |
| 罗茨+罗茨+往复泵 |
≤40 |
| 罗茨+罗茨+罗茨+往复泵 |
≤2 |
实例说明:
阿根廷某镀膜机用户,现场有卧式镀膜腔体:Ø 1.20 m *1,20 m,罗茨机组在2分钟内达到3~4torr (即300~400Pa)。
我司提供ZJP1200罗茨+H150单级滑阀泵机组一套,机组总功率<18.5Kw(被替换的机组总功率达到26Kw)。出厂前测试罗茨泵启动30秒内达到2.5*10-1Pa,优于客户要求。
设备在客户仓库图片供参考:

标签:罗茨泵,滑阀泵,水环泵,罗茨机组
编辑人:胡羽(上海坎特真空科技有限公司)
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