扩散泵的分解、清洗及装配

1、扩散泵的分解

（1）、对泵芯自上而下进行分解。

（2）、分解过程应谨慎，不得使零部件有所损坏及变形。

（3）、分解后的零部件，应置于安全妥当的位置。

2、扩散泵的清洗

（1）、将泵分解完毕后，首先将旧泵油倒出并擦净，

（2）、将所有泵芯零部件及泵腔排气管依次用航空汽油或四氯化碳进行清洗。

（3）、用180#水砂纸把铝塔芯表面的碳黑、黄袍、处理干净露出金属的本色后用毛刷蘸汽油除油，再用丙酮洗净。

（4）、将清洗完毕后之零部件及泵腔用蘸过乙醚或丙酮的白丝绸进行擦拭。

（5）、再用干净的白丝绸通擦一遍，不得有油污存在。

（6）、将擦干净的零部件置于100-150℃下烘干1 小时（可用电烘箱或红外线灯）。

（7）、对所有密封胶圈用蘸过乙醇的丝绸擦净吹干后备用。

（8）、注意：在清洗过程中一定不要将棉布纤维挂落在泵体内。

3、扩散泵的装配

（1）、零件经清洗烘干后，按顺序进行装配，如不能立即装配时，应将零部件置于清洁干燥处保存。

（2）、装配时应戴丝绸手套，不得用光手触摸零部件。

（3）、装配应注意，泵芯应于泵底垂直与泵腔同心，不得有明显的倾斜。

（4）、装配完毕后，自进气口加入新泵油，即可接入真空系统使用。

（5）、与真空系统联接时，所有密封胶圈应涂一层薄而均匀的真空脂（高真空处一定要少涂或是不涂）。

链接：扩散泵

编辑：张璟（上海坎特真空科技有限公司）