简介：
JZJLG150-3T型罗茨真空泵是由ZJ150罗茨泵、LG50螺杆泵串联而成的真空吸油机组。 单晶硅真空拉伸工艺的主要特点如下

特点：
无油气污染真空系统，可获得清洁真空
配置单晶硅专用过滤器，减少硅粉吸入真空泵
被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用
无油气和油烟等有害气体的排放，环境污染小
避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗
泵可单独使用，或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在1Pa至大气压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统
泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，使用寿命长
泵腔内采用间隙密封，对少量小颗粒粉尘不敏感
整机体积小，减少占地面积
消耗功率更低，节能效果好
运行噪声低